熱風機・ヒーターのグローバルブランド ライスターテクノロジーズはスイス製ライスター製品の日本における総輸入・総販売元です s

OEMアプリケーション用高性能・超小型
マスフローメータ及びコントローラ

 

広範囲な製品群
単一ガス対応超小型マスフローメータ・マスフローコントローラから、マルチガスの測定/制御用、高度統合型のカスタム設計されたマニホルドユニットまで、Axetrisの新型MFM/MFC 2000シリーズは広範囲の用途に適しています。

モジュール設計と幅広い製品群により、最新のフローセンシング・制御技術をお客様の製品にシームレスに提供することが可能です。

高精度且つ高速応答時間
高精度且つ高速応答により、これまで不可能であった速度と精度でガスを制御することが可能となりました。この機能により、プロセスパラメータのより厳格な管理、システム処理能力の向上、およびキャリアガス消費量の低減が可能になります。


コンパクトサイズ
コンパクトサイズのAxetris マスフローセンサとコントローラにより、お客様のシステムの、サイズと重量の低減を可能とすると伴に、新機能の追加を可能とします。

マルチガス/マルチレンジ対応機能
一台で複数の流量レンジ或いは複数のガス種に設定することが可能であり、部品の複雑性を軽減します。

完全な校正と補正
AxetrisのMFM/MFC 2000シリーズは、全数校正・温度補正の上納入されます。校正はNIST (米国商務省標準技術局) 基準です。

幅広いガスおよび流量の範囲
MFM/MFC 2000 シリーズの製品は、広範囲の不活性ガスに対応しており、流量範囲は20 sccm 以下から3000 sccm(sccm: Standard Cubic Centimeter per Minutes) 迄です。外部バイパスを使用することで、さらに広範囲の流量範囲を実現することが可能です。

 

特徴

 

用途

  • MEMS ベースの技術
  • コンパクトサイズ
  • 高精度
  • 高速応答
  • マルチガス/マルチレンジ対応
  • モジュール方式
  • 分析機器
  • ガスクロマトグラフ
  • リーク検出
  • 単一ガス・マルチガスの流量測定と制御
  • 校正と品質管理
  • 薄膜プロセス制御

 

 

メーター   コントローラ   カスタムシステム  
MFM 2020
MFM 2020
MFM 2021
MFC 2022 MFC 2022 MFY 20000
MFY 20000
シリーズ
MFM 2100
MFM 2100
シリーズ
MFC 2100 MFC 2100
シリーズ
MFY 21000
MFY 21000
シリーズ

注意:掲載画像は、表示のみを目的としています。実際の設計機種については、Axetrisにお問い合わせください。

 

Customized gas mixing and blending systems

 

 

カスタム設計ガス混合システム


複数のマスフローメータ、圧力センサ、およびコントローラモジュールを、1 つのマニホールドに統合することにより、Axetris は、お客様のニーズに最適且つコンパクトな、お客様固有のシステム構築を可能とします。標準的なマスフローコントローラーを使用する従来型のマニホールドとは大きく異なり、統合型マニホールドは、よりコンパクト且つ高いコスト効率なシステムの構築が可能となります。
マスフローメーター/マスフローコントローラー

 

 

 

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